信田公司JENFTICH XFTF终端过滤(颗粒)撬装设备是SHINODA超纯水(UPW)系统中的最终把关屏障装备,安装在超纯水分配环路(Loop)末端或工艺设备使用点(POU)前端,用于去除系统中残留的微粒、胶体和细菌,确保送至晶圆的用水颗粒达到极低水平,满足先进制程(<7nm、EUV)对颗粒污染的严苛控制。