信田公司JENFTICH XFTF终端过滤（颗粒）撬装设备是SHINODA超纯水（UPW）系统中的最终把关屏障装备，安装在超纯水分配环路（Loop）末端或工艺设备使用点（POU）前端，用于去除系统中残留的微粒、胶体和细菌，确保送至晶圆的用水颗粒达到极低水平，满足先进制程（<7nm、EUV）对颗粒污染的严苛控制。1. 设备概述JENFTICH XFTF终端过滤撬装设备采用高精度膜过滤技术，以一体化撬装形式工厂预制完成，集成滤芯/膜组件、壳体、阀门、仪表和控制系统。具有低析出、高流量、低压降、易更换的特点，是半导体超纯水系统不可或缺的最后一道物理屏障。主要形式：单撬或多撬并联设计，处理能力通常为单撬10–150 m³/h。

• 过滤器壳体：电抛光316L不锈钢或高纯PVDF材质，设计为卫生级、无死角，符合半导体高纯要求。

• 滤芯/膜组件：

• 高精度聚四氟乙烯（PTFE）、聚醚砜（PES）或尼龙（Nylon）折叠式膜滤芯

• 孔径规格：0.02μm、0.04μm、0.1μm（最常用）

• 支持高流量、大面积滤芯（大流量型）

• 阀门与管路：气动隔膜阀 + PFA/316L电抛光管路，支持在线更换和旁通功能。

• 在线仪表：差压变送器、流量计、颗粒计数器接口（激光粒子计数器）、电阻率仪。

• 控制系统：PLC + 触摸屏（集成SHINODA智能数字化平台），实现差压监测、过滤寿命管理、自动报警和旁通保护。

• 基架：不锈钢撬装平台，结构紧凑，预留进出水、排气、取样口和就地清洗接口。

4. 主要技术参数（典型值）

• 过滤精度：0.01–0.1μm（可根据制程需求选择）

• 去除效率：≥99.999%（对0.05μm以上颗粒）

• 设计通量：高流量型可达1000–2000 L/min·支

• 压降：新滤芯≤0.2 bar，终阻力更换点0.8–1.2 bar

• 耐温：≤80℃（高温型可达95℃）

• 回收率：接近100%

• 滤芯寿命：3–12个月（视进水颗粒负荷和差压情况）

5. 技术亮点与优势

• 极低析出：采用半导体级滤材和电抛光工艺，金属离子及TOC析出极低，符合UPW最严标准。

• 高度集成撬装：工厂预制、完整性测试完成，现场安装简单快速，减少污染风险。

• 高流量低压降：优化流道和大面积滤芯设计，满足高耗水设备需求，同时降低系统能耗。

• 智能监控：实时差压趋势监测，预测滤芯更换时间，支持就地在线更换（双联设计可选）。

• 灵活配置：可配置单级、双级串联或多支并联，适应不同流量和洁净度要求。

• 易维护：快拆式设计，滤芯更换便捷，支持热纯水或化学就地清洗。

6. 典型应用位置

• 超纯水主环路（Loop）终端

• 各工艺使用点（POU）前端，如晶圆清洗机、光刻机、湿法刻蚀设备

• CMP浆料稀释水终端过滤

• 关键工艺冷却水或化学品配制终端保护

JENFTICH XFTF终端过滤（颗粒）撬装设备通常与JENFTICH TOC分解（185nm）、脱气膜（MDG）、除金属离子设备等共同组成完整的超纯水终端精制系统，是保障晶圆良率的关键最后防线。如需根据具体流量、目标颗粒规格（例如≥0.05μm颗粒浓度）提供滤芯选型、数量计算、设备尺寸或详细配置清单，欢迎提供工艺用水量和颗粒控制要求，我可以进一步细化定制方案。

概　要

一种利用孔径为0.01~0.1微米（µm）的超滤膜，以压力差为推动力，通过物理筛分（截留）原理，高效去除水中悬浮物、胶体、细菌、病毒、大分子有机物等杂质的膜分离技术。

特　长

高效物理分离： 精密筛分去除微粒、胶体、微生物（细菌、病毒），显著降低浊度和SDI值（淤泥密度指数）。
水质提升： 产水清澈，微生物安全性高。
核心预处理： 作为反渗透（RO）、纳滤（NF）或离子交换（IEX）等系统的理想前处理单元，有效保护后续设备，延长膜寿命和树脂再生周期。
相对低能耗： 操作压力通常低于反渗透（RO）。
化学清洗恢复： 膜污染后可通过化学清洗有效恢复通量。

用　途

广泛应用于：
RO/NF/IEX前处理： 保护后续核心单元。
饮用水净化： 市政供水、小区直饮水、瓶装水预处理。
工业用水处理： 电子、电力、化工、食品饮料等行业工艺用水制备。
废水回用： 中水处理核心单元。
生物医药： 药液澄清、除菌、除热原。
海水淡化预处理。