数字化平台

信田产品
信田公司JENFTICH XSTOC分解设备
来源: | 作者:信田 | 发布时间 :2026-06-13 | 26 次浏览: | 🔊 点击朗读正文 ❚❚ ▶ | 分享到:
ENFTICH XSTOC分解撬装设备以185 nm低压高强度汞灯为核心，采用一体化撬装设计，将紫外反应器、电源系统、水泵、管路、仪表和控制系统全部在工厂预制完成。该设备可单独运行，也常与254 nm UV杀菌灯组合使用，实现TOC分解+消毒双重功能。适用场景：半导体、电子、制药等行业超纯水终端或中间精制环节，尤其对EUV光刻、晶圆清洗等高敏感制程至关重要。处理能力：单撬5–120 m³/h（可多撬并联）。

信田公司JENFTICH XSTOC分解（185 nm）撬装设备是SHINODA超纯水（UPW）系统中关键的有机物控制装备，采用185 nm紫外光氧化技术，专门用于深度分解水中总有机碳（TOC），将有机物氧化为CO₂和H₂O，确保产水TOC达到半导体先进制程的严苛要求（通常<1–2 μg/L）。