信田公司JENFTICH XSTOC分解设备

来源: | 作者:信田 | 发布时间 :2026-06-13 | 28 次浏览: | 🔊 点击朗读正文 ❚❚ ▶ | 分享到:

ENFTICH XSTOC分解撬装设备以185 nm低压高强度汞灯为核心，采用一体化撬装设计，将紫外反应器、电源系统、水泵、管路、仪表和控制系统全部在工厂预制完成。该设备可单独运行，也常与254 nm UV杀菌灯组合使用，实现TOC分解+消毒双重功能。适用场景：半导体、电子、制药等行业超纯水终端或中间精制环节，尤其对EUV光刻、晶圆清洗等高敏感制程至关重要。处理能力：单撬5–120 m³/h（可多撬并联）。

信田公司JENFTICH XSTOC分解（185 nm）撬装设备是SHINODA超纯水（UPW）系统中关键的有机物控制装备，采用185 nm紫外光氧化技术，专门用于深度分解水中总有机碳（TOC），将有机物氧化为CO₂和H₂O，确保产水TOC达到半导体先进制程的严苛要求（通常<1–2 μg/L）。1. 设备概述JENFTICH XSTOC分解撬装设备以185 nm低压高强度汞灯为核心，采用一体化撬装设计，将紫外反应器、电源系统、水泵、管路、仪表和控制系统全部在工厂预制完成。该设备可单独运行，也常与254 nm UV杀菌灯组合使用，实现TOC分解+消毒双重功能。适用场景：半导体、电子、制药等行业超纯水终端或中间精制环节，尤其对EUV光刻、晶圆清洗等高敏感制程至关重要。处理能力：单撬5–120 m³/h（可多撬并联）。2. 工作原理185 nm紫外光具有极高光子能量（6.7 eV），可直接断裂水中大多数有机物的化学键，同时激发水分子产生强氧化性羟基自由基（•OH）：有机物 + •OH + 185 nm UV → CO₂ + H₂O + 无机小分子此过程为高级氧化过程（AOPs），对微量有机物（如醇类、酮类、表面活性剂残留、细菌代谢物等）具有极强的分解能力。3. 撬装设备主要组成

UV反应器：不锈钢或高纯电抛光316L材质腔体，内置185 nm（主）+ 254 nm（辅）低压汞灯模块。采用多灯管并联设计，优化水力流态，确保水与紫外光充分接触。
紫外灯管与套管：高纯石英套管（透光率>95%），灯管寿命8000–12000小时，支持在线监测灯管强度。
电源系统：电子镇流器 + 可调功率控制系统，支持自动功率调节和灯管状态监测。
水泵与循环系统：变频增压泵，确保设定流量和湍流状态，提高分解效率。
在线仪表：TOC在线分析仪（进口）、UV强度传感器、流量计、温度传感器、压力传感器、电阻率仪。
控制系统：PLC + 触摸屏，全自动运行、灯管寿命管理、故障报警、自动旁通保护，支持与SHINODA智能数字化平台对接。
基架：不锈钢撬装平台，集成所有部件，设计紧凑，预留进出水及电气接口。

4. 主要技术参数（典型值）

紫外波长：185 nm（主）+ 254 nm（辅助）
TOC去除率：70–95%（取决于进水TOC浓度和停留时间）
出水TOC：可稳定控制在<1–2 μg/L（进水TOC<10–20 μg/L时）
设计剂量：≥40–60 mJ/cm²（185 nm）
压降：≤0.2–0.4 bar
运行温度：5–40℃
灯管寿命：≥8000小时（智能监控下可延长）
回收率：接近100%

5. 技术亮点与优势

高效TOC分解：185 nm专用灯管搭配优化反应器设计，分解效率高，特别适合去除难降解小分子有机物。
高度集成撬装：工厂预制、测试完成，现场安装快捷，减少污染风险。
智能控制：实时监测UV强度、TOC趋势、流量，自动调节功率和报警，延长灯管寿命。
低能耗：电子镇流器+变功率控制，根据水质智能调整能耗。
安全设计：灯管过热保护、断水保护、漏电保护、石英管破裂监测。
易维护：模块化灯管设计，更换便捷；支持在线化学清洗接口。

6. 典型应用位置

RO + EDI之后，作为超纯水最终TOC控制单元
超纯水循环环路（Loop）中，防止TOC积累
光刻胶稀释水、晶圆清洗水等高要求工艺点
制药高纯水系统中去除内毒素前体有机物

JENFTICH XSTOC分解（185 nm）撬装设备可与JENFTICH脱气膜（XSMDU）、除金属离子、EDI、终端过滤器等设备组成完整的超纯水终端精制系统，并通过SHINODA智能数字化管理系统实现TOC、水质、能耗的闭环智能监控。如需根据具体进水TOC浓度和目标出水指标提供灯管数量计算、反应器尺寸、能耗估算或详细配置方案，欢迎提供水质数据，我可以进一步细化定制描述。

概　要

一种利用高能量 185nm 紫外线 (UV) 照射水体，将水中有机物 (TOC) 直接氧化分解成二氧化碳 (CO2) 和水 (H2O)，或将其氧化成低分子量、易被后续精处理单元（如 EDI、混床）去除的物质的装置。主要用于超纯水系统中痕量有机物的去除。

特　长

高效分解 TOC： 185nm UV 光能直接裂解有机物分子并产生活性自由基（如·OH），实现高效的 TOC 去除。
物理化学过程：无需或仅需极少化学药剂（如少量过氧化氢），无二次污染风险。
提升水质纯度：有效降低超纯水中的 TOC 含量，显著提升产水电阻率。
维护相对简便：核心部件为紫外灯管，维护主要集中在定期更换灯管。
连续在线处理：可集成于超纯水循环系统中，实现 TOC 的持续控制。