JENFTICH助力某头部晶圆厂28nm产线实现全流程高纯水与零排闭环
28nm制程对超纯水的水质要求极高,尤其在颗粒、金属离子、TOC、溶解氧等关键指标上需达到国际领先水平。同时,工厂面临用地紧张、能耗控制严格、废水零排政策要求高等多重挑战。传统分散建设方式已难以满足新一代晶圆厂“高纯、稳定、节能、零排、智能......