信田公司JENFTICH除金属离子(离子交换)撬装设备是SHINODA超纯水(UPW)系统中的终端精制核心装备,专为去除水中痕量金属离子(Fe、Cu、Ni、Zn、Na、Ca、Mg、Al等)至ppt级而设计,保障半导体先进制程对金属污染的极致控制。1. 设备概述JENFTICH除金属离子撬装设备采用高选择性离子交换树脂技术,以一体化撬装形式工厂预制完成,包括树脂床体、管路、阀门、再生系统(可选)和智能控制系统。可单独使用,也常作为EDI或混床后的最终抛光单元。主要特点:
模块化撬装设计,快速部署
处理水量:单撬5–80 m³/h(可多撬并联)
针对性强、去除效率高、无需频繁再生(部分为抛弃式或长周期运行)

2. 工作原理利用离子交换树脂的功能基团与水中金属阳离子发生选择性交换反应,将金属离子吸附在树脂上,同时释放H⁺或Na⁺等离子,从而实现深度除金属。
强酸性阳离子交换树脂:常规去除多价阳离子
螯合型树脂(主流):对重金属和过渡金属具有极高选择性(如iminodiacetic acid或bis-picolylamine基团),即使在极低浓度下也能高效捕获
运行至饱和后可进行酸再生或直接更换树脂
3. 撬装设备主要组成
离子交换柱:304/316L不锈钢或高强度PP/PE压力容器,内衬树脂床层(通常1–3级串联设计)。
高性能树脂:进口或高端螯合树脂 + 混床抛光树脂,填充量根据水量精确计算。
进出水管路系统:高纯316L不锈钢或PFA管路,低死区设计。
阀门组:气动/电动多路阀,实现运行、正洗、反洗、再生等模式自动切换。
再生系统(可选):酸再生箱、计量泵、稀释系统、中和装置。
在线监测仪表:电阻率仪、在线金属离子分析仪(可选ICP-MS接口)、流量计、压差传感器、pH计。
控制系统:PLC + 触摸屏,全自动控制,支持与SHINODA智能数字化平台对接,实现远程监控、饱和预测和自动切换。
4. 主要技术参数(典型值)
进水要求:EDI或RO产水(电阻率>10 MΩ·cm)
出水金属离子:单项金属离子<0.01–0.1 ppt(视树脂类型和进水情况)
总金属去除率:>99%(痕量级)
产水电阻率:维持或提升至18.0–18.2 MΩ·cm
运行流速:15–40 BV/h(床体积/小时)
压降:≤0.2–0.4 MPa
树脂寿命:螯合树脂一般1–3年(可再生型),抛光混床6–18个月
5. 技术亮点与优势
超强选择性:专用螯合树脂对特定金属离子亲和力极高,即使在高纯水中也能有效去除。
高度集成撬装:工厂整体预制、装填树脂、压力测试和调试完成,现场安装快捷,减少现场污染风险。
低析出设计:采用半导体级树脂和管材,最大限度降低树脂本身对水质的二次污染。
智能运行:实时监测压差和出水电阻率趋势,预测树脂饱和时间,自动提醒再生或更换。
灵活配置:支持单床、双床(一用一备)、串联多级等多种模式,适应不同制程需求。
运行成本低:长周期运行,减少再生酸碱消耗和废液处理费用。
6. 典型应用
半导体晶圆厂超纯水(UPW)终端金属离子控制
先进制程(EUV、<7nm)清洗用水
电子级化学品配制用水
制药高纯水系统中痕量金属去除
高压锅炉给水除金属腐蚀控制
JENFTICH除金属离子(离子交换)撬装设备可与JENFTICH UF、RO、EDI、脱气膜(MDG)等设备组成完整的超纯水终端精制链路,并通过SHINODA智能数字化管理系统实现全流程水质闭环监控。如需根据具体进水水质和目标金属离子指标提供树脂选型、床层高度计算、设备尺寸或详细配置方案,欢迎提供水质分析报告,我可以进一步细化定制描述。
利用装有离子交换树脂(阳树脂、阴树脂或混床树脂)的塔式容器,通过树脂上的可交换离子与水中的杂质离子发生置换反应,从而深度去除水中溶解盐类、离子的传统水处理技术。需定期使用酸、碱化学药剂进行再生以恢复交换能力。
深度脱盐除离子: 可高效去除水中绝大部分阴阳离子(包括硅、硼等难去除离子),产水纯度极高(电阻率可达18 MΩ·cm)。
水质适应性强: 对进水水质(如TOC、硬度、含盐量)波动的容忍度相对较高,能处理较高TOC含量的RO产水。
成熟可靠: 技术成熟,应用经验丰富,运行稳定可靠。
灵活配置: 可根据水质需求采用单床(阳床/阴床)、复床(阳床+阴床)或混床(阳阴树脂混合)等不同组合形式。
主要用于制备超纯水或作为精处理单元,以及对水质要求极高的场合:
超纯水精制: RO或EDI之后,作为最终抛光(Polishing)单元,确保产水达到最高纯度(如半导体、制药)。
深度除盐: 作为RO的后处理或替代方案(当进水不适合RO或对除盐率要求极高时)。
特殊离子去除: 选择性去除特定离子(如除硝酸盐、除硼、重金属回收)。
锅炉补给水处理: 保证锅炉给水水质,防止结垢腐蚀。
实验室纯水制备。
涵盖过滤、纯水、超纯水、废水回用、循环水处理等板块,广泛应用于电子、能源、化工等行业,持续优化水质管理和工艺能效
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