脱气膜装置(MDG)是一种利用疏水性中空纤维膜和真空或载气技术,通过扩散原理高效去除水中溶解氧和二氧化碳等气体的物理脱气方法。其主要特点包括高效脱气能力,可将溶解氧降至ppb级别,且无需使用化学药剂,避免水质污染和运行成本增加;能耗较低,主要依赖真空泵,结构紧凑、操作简便,不受水温波动影响,稳定性高。该装置广泛应用于对水中溶解气体含量有严格要求的领域,如超纯水系统、半导体行业的工艺冷却水和超纯水系统、制药行业的注射用水和纯化水系统、食品饮料行业的工艺用水脱氧保鲜等。
信田公司JENFTICH XSMDU脱气膜装置(XSMDU)撬装设备是SHINODA超纯水(UPW)系统中的关键气体去除装备,采用高度集成的一体化撬装设计,专用于高效去除水中溶解氧(DO)、二氧化碳(CO₂)及其他溶解气体,防止气体对半导体制程、EDI效率和设备腐蚀产生不良影响。