脱气膜装置（MDG）是一种利用疏水性中空纤维膜和真空或载气技术，通过扩散原理高效去除水中溶解氧和二氧化碳等气体的物理脱气方法。其主要特点包括高效脱气能力，可将溶解氧降至ppb级别，且无需使用化学药剂，避免水质污染和运行成本增加；能耗较低，主要依赖真空泵，结构紧凑、操作简便，不受水温波动影响，稳定性高。该装置广泛应用于对水中溶解气体含量有严格要求的领域，如超纯水系统、半导体行业的工艺冷却水和超纯水系统、制药行业的注射用水和纯化水系统、食品饮料行业的工艺用水脱氧保鲜等。
信田公司JENFTICH XSMDU脱气膜装置（XSMDU）撬装设备是SHINODA超纯水（UPW）系统中的关键气体去除装备，采用高度集成的一体化撬装设计，专用于高效去除水中溶解氧（DO）、二氧化碳（CO₂）及其他溶解气体，防止气体对半导体制程、EDI效率和设备腐蚀产生不良影响。1. 设备概述JENFTICH XSMDU脱气膜撬装设备以中空纤维膜接触器（Membrane Contactor）为核心，利用气体透过膜的原理实现物理脱气，无需添加化学药剂。设备工厂预制完成，具有占地小、效率高、运行稳定、易维护的特点，特别适用于半导体先进制程对超低溶解氧（<1 ppb）和低CO₂的严苛要求。主要形式：单撬或多撬并联，处理水量通常为10–150 m³/h。2. 工作原理XSMDU采用疏水性中空纤维膜（常用PTFE或聚丙烯材质）。水在膜丝外侧（或内侧）流动，真空抽吸或氮气吹扫在膜丝内侧（或外侧）形成分压差。根据亨利定律和扩散原理：
此过程为物理过程，不消耗化学品，且不引入新污染物。3. 撬装设备主要组成
膜接触器模块：高填充密度中空纤维膜组件（进口或高端PTFE膜），多支并联或串联配置。
真空系统：真空泵 + 自动控制阀组 + 冷凝器（防止水蒸气进入泵）。
吹扫气系统（可选）：氮气（N₂）吹扫模式，作为真空模式的补充或替代。
水泵与管路：进水增压泵（变频）、循环泵，316L不锈钢或高纯PVDF/PFA管路。
阀门组：自动切换真空/吹扫/运行/清洗模式。
在线仪表：溶解氧（DO）分析仪、CO₂监测（可选）、流量计、压力传感器、温度传感器。
控制系统：PLC + 触摸屏，全自动运行，支持与SHINODA智能数字化平台对接，实现远程监控和优化。
基架：不锈钢撬装平台，集成所有部件，预留清晰接口。
4. 主要技术参数（典型值）
5. 技术亮点与优势
高效物理脱气：无需化学脱氧剂（如亚硫酸钠），避免引入新离子，符合半导体超纯水低析出要求。
高度集成撬装：工厂预制调试完成，现场安装快速，特别适合工期紧张的Fab项目。
低能耗低压降：优化流道设计，减少系统整体阻力。
智能控制：实时监测DO值，自动调节真空度或吹扫气流量，维持最佳脱气效果。
抗污染设计：疏水膜 + 定期反冲洗/化学清洗功能，延长膜使用寿命。
灵活性：支持真空模式、氮气吹扫模式或组合模式，可根据不同制程需求灵活切换。
安全可靠：配备多重保护（真空度保护、液位保护、超温报警等）。
6. 典型应用位置
RO或EDI之后，作为超纯水终端精制的重要单元
半导体晶圆清洗、湿法刻蚀等对溶解气体敏感的制程
锅炉给水脱氧（防止腐蚀）
高纯循环冷却水或液冷系统气体去除
JENFTICH MDG脱气膜撬装设备可与JENFTICH UF超滤、RO反渗透、EDI连续除盐等设备无缝串联，并接入SHINODA智能终端及数字化管理系统，实现全流程水质（尤其是溶解气体）精准控制。如需根据具体水质和目标DO值提供详细的膜面积计算、配置方案、能耗分析或设备尺寸，欢迎提供进水水质数据和目标出水要求，我可以进一步细化定制描述。
概 要
一种利用疏水性中空纤维膜及真空（或载气），通过扩散原理高效去除水中溶解氧（DO）、二氧化碳（CO2）等溶解性气体的物理脱气技术。
特 长
高效脱气： 可显著降低水中溶解氧（可降至 ppb 级）和二氧化碳。
无化学药剂： 无需添加除氧剂（如亚硫酸盐），避免水质污染和运行成本增加。
低能耗： 主要能耗为真空泵（或少量载气），相比热力脱气能耗显著降低。
结构紧凑、操作简便： 模块化设计，占地面积小，启动快，运行维护简单。
稳定性高： 运行稳定，不受水温波动显著影响（热力脱气效果受水温影响大）。
用 途
主要用于对水中溶解氧和二氧化碳含量有严格要求的系统：
超纯水系统： 作为前处理或后处理单元，保护后续 EDI、混床等设备，防止树脂氧化和 CO2 导致的电导率升高。
半导体行业： 工艺冷却水（PCW）、超纯水（UPW）系统。
制药行业： 注射用水（WFI）、纯化水（PW）系统。
食品饮料行业： 工艺用水脱氧保鲜。
其它： 需要严格控制溶解气体的工业流程。
