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JENFTICH助力某头部晶圆厂28nm产线实现全流程高纯水与零排闭环
来源: | 作者:信田 | 发布时间 :2026-06-23 | 97 次浏览: | 🔊 点击朗读正文 ❚❚ ▶ | 分享到:
28nm制程对超纯水的水质要求极高，尤其在颗粒、金属离子、TOC、溶解氧等关键指标上需达到国际领先水平。同时，工厂面临用地紧张、能耗控制严格、废水零排政策要求高等多重挑战。传统分散建设方式已难以满足新一代晶圆厂“高纯、稳定、节能、零排、智能”的综合需求。

某国际领先的集成电路制造企业，在华东新建的28nm逻辑芯片晶圆厂项目中，全面采用了XT公司JENFTICH系列水处理与流体控制产品，构建了从源水处理到超纯水制备、再到废水零排及低碳运维的全生命周期一体化解决方案。该项目于2024年成功投产，目前运行稳定，为28nm先进制程提供了高可靠的水务保障。