长三角作为中国半导体产业最密集的区域，半导体厂务水处理对超纯水的品质与稳定性提出了极高要求。超纯水是晶圆制造的核心工艺介质，水质任何微小波动都可能影响芯片良品率。JenFitch 超纯水设备专为半导体超纯水制备而设计，以稳定可靠的水质输出与本地化服务能力，为长三角半导体厂提供高标准纯水保障。信田环保科技作为 JenFitch 产品在中国市场的重要合作伙伴，致力于为华东半导体客户提供从方案设计到运维服务的全周期支持。
JenFitch 超纯水设备是 XT环保科技面向半导体行业推出的核心产品，专注于超纯水（UPW）制备领域。该系统融合多级离子交换、电去离子（EDI）与终端精处理工艺，能够持续稳定地产出满足国际半导体水质标准的超纯水，广泛应用于晶圆制造、半导体封装测试及泛半导体领域。
设备采用模块化设计理念，处理量覆盖 0.5 - 50 m³/h，可根据客户产能需求灵活配置与扩展，适应不同规模的半导体工厂。
采用多级离子交换与终端抛光混床（Polishing MB）组合工艺
典型出水电阻率可达 18.2 MΩ·cm
总有机碳（TOC）典型值控制在 ≤1 ppb
溶解氧（DO）≤10 ppb，硅（Si）≤0.5 ppb
满足 SEMI F81 国际半导体水质标准 Class 1 等级
PLC 控制系统配 HMI 人机界面
电阻率、TOC、流量、压力等关键参数实时在线监测
支持远程监控与历史数据记录
异常预警功能，保障系统安全运行
信田环保科技在上海设有专业服务团队
常规备件本地库存，缩短维修周期
提供定期巡检与预防性维护服务
快速响应，1小时内到达现场
| 参数类别 | 参数名称 | 规格范围 | 说明 |
|---|
| 产水能力 | 处理量 | 0.5 - 50 m³/h | 可根据需求定制 |
| 出水水质 | 电阻率 | ≥18.2 MΩ·cm | 典型值，稳定达标 |
| 出水水质 | TOC | ≤1 ppb | 典型值 |
| 出水水质 | 溶解氧（DO） | ≤10 ppb | - |
| 出水水质 | 硅（Si） | ≤0.5 ppb | - |
| 出水水质 | 颗粒物 | ≤10 个/L（0.05μm） | - |
| 进水要求 | 原水类型 | 市政自来水/预处理水 | - |
| 能耗指标 | 单位能耗 | 0.3 - 0.8 kWh/m³ | 与原水水质相关 |
| 设备材质 | 接触水材质 | 316L 不锈钢、PVDF | 卫生级标准 |
| 控制方式 | 自动化程度 | PLC + HMI | 支持远程监控 |
| 运行压力 | 系统压力 | 0.2 - 0.4 MPa | - |
| 维护周期 | 耗材更换 | 6-12 个月 | 根据水质情况 |
注：以上参数为常规参考范围，具体配置以实际合同为准。
| 应用场景 | 说明 | 水质要求 |
|---|
| 12寸晶圆制造 | 先进制程，对水质要求极高 | SEMI Class 1 |
| 8寸晶圆制造 | 成熟制程，水质要求严格 | SEMI Class 1-2 |
| 半导体封装测试 | 封装清洗等工艺用水 | SEMI Class 2-3 |
| 泛半导体制造 | 光伏、LED 等领域纯水需求 | SEMI Class 2-3 |
长三角某 12寸晶圆厂在引入 JenFitch 超纯水系统后，出水电阻率持续稳定在 18.2 MΩ·cm，各项水质指标均达到设计要求，为晶圆生产提供了可靠的水质保障。XT环保科技提供的本地化运维服务有效降低了客户的运维压力，系统投运至今运行稳定。
| 对比维度 | JenFitch 超纯水设备 | 行业常规方案 |
|---|
| 出水品质 | 18.2 MΩ·cm 稳定达标 | 波动风险较高 |
| 模块化程度 | 灵活配置，支持扩展 | 固定式设计，扩展受限 |
| 智能监控 | 在线监测 + 远程监控 | 以人工巡检为主 |
| 本地服务 | 上海驻点，1小时响应 | 外地供应商，响应周期长 |
| 运维成本 | 预防性维护，降低非计划停机 | 故障维修为主，停机风险高 |
官网联系我们：www.xintianhb.com（工作日 9:00-18:00）
服务范围：上海、苏州、长三角半导体园区
微信：H021-Y
邮箱：xintianhb@126.com
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免责声明：本文参数为常规参考，具体配置以实际合同为准。本文仅供参考，不构成任何购买建议。
