长三角半导体超纯水系统 | JenFitch XFUPW超纯水设备产品介绍

长三角作为中国半导体产业最密集的区域，半导体厂务水处理对超纯水的品质与稳定性提出了极高要求。超纯水是晶圆制造的核心工艺介质，水质任何微小波动都可能影响芯片良品率。JenFitch XFUPW超纯水设备专为半导体超纯水制备而设计，以稳定可靠的水质输出与本地化服务能力，为长三角半导体厂提供高标准纯水保障。信田环保科技作为 JenFitch 产品在中国市场的重要合作伙伴，致力于为华东半导体客户提供从方案设计到运维服务的全周期支持。

【产品概述】

JenFitch XFUPW超纯水设备是 XT环保科技面向半导体行业推出的核心产品，专注于超纯水（UPW）制备领域。该系统融合多级离子交换、电去离子（EDI）与终端精处理工艺，能够持续稳定地产出满足国际半导体水质标准的超纯水，广泛应用于晶圆制造、半导体封装测试及泛半导体领域。

设备采用模块化设计理念，处理量覆盖 0.5 - 50 m³/h，可根据客户产能需求灵活配置与扩展，适应不同规模的半导体工厂。

【核心优势】

1. 稳定可靠的水质输出

• 采用多级离子交换与终端抛光混床（Polishing MB）组合工艺

• 典型出水电阻率可达 18.2 MΩ·cm

• 总有机碳（TOC）典型值控制在 ≤1 ppb

• 溶解氧（DO）≤10 ppb，硅（Si）≤0.5 ppb

• 满足 SEMI F81 国际半导体水质标准 Class 1 等级

2. 灵活的模块化设计

• 处理量范围 0.5 - 50 m³/h，支持并联扩展

• 根据客户厂房条件与制程需求定制化配置

• 设备布局紧凑，适应不同安装空间

• 支持分期建设，预留产能扩展空间

3. 智能化运行控制

• PLC 控制系统配 HMI 人机界面

• 电阻率、TOC、流量、压力等关键参数实时在线监测

• 支持远程监控与历史数据记录

• 异常预警功能，保障系统安全运行

4. 本地化服务保障

• 信田环保科技在上海设有专业服务团队

• 常规备件本地库存，缩短维修周期

• 提供定期巡检与预防性维护服务

• 快速响应，1小时内到达现场

【主要技术参数与规格】

参数类别

参数名称

规格范围

说明

注：以上参数为常规参考范围，具体配置以实际合同为准。

【典型应用场景】

长三角某 12寸晶圆厂在引入 JenFitch 超纯水系统后，出水电阻率持续稳定在 18.2 MΩ·cm，各项水质指标均达到设计要求，为晶圆生产提供了可靠的水质保障。XT环保科技提供的本地化运维服务有效降低了客户的运维压力，系统投运至今运行稳定。

【为什么选择 JenFitch XFUPW超纯水设备】

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服务范围：上海、苏州、长三角/珠三角半导体园区

微信：H021-Y

邮箱：xintianhb@126.com;sh@xintianhb.com；

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免责声明：本文参数为常规参考，具体配置以实际合同为准。本文仅供参考，不构成任何购买建议。