一、项目背景与挑战28nm制程对超纯水的水质要求极高，尤其在颗粒、金属离子、TOC、溶解氧等关键指标上需达到国际领先水平。同时，工厂面临用地紧张、能耗控制严格、废水零排政策要求高等多重挑战。传统分散建设方式已难以满足新一代晶圆厂“高纯、稳定、节能、零排、智能”的综合需求。

• XFPE预处理设备 + XFUF超滤设备 + XFMBR一体化MBR设备
  对市政水及厂区中水进行高效预处理，确保RO进水SDI<3、浊度<0.1 NTU。

• XFRW中水回用设备
  将生产区部分中水深度处理后回用于冷却塔补水和厂区杂用，实现水资源梯级利用。

2. 超纯水（UPW）核心制备系统

• XFPW一体化净水设备 + XFUPW一体化超纯水设备

• XFRO反渗透设备 + XFMSU膜分离设备（双级RO）

• XFEDI连续电除盐设备

• XSMDU脱气膜设备（去除溶解氧至<1ppb）

• XSPOL除金属离子设备（抛光混床+螯合树脂）

• XSTOC TOC分解装置（185nm UV）

• XSDEUV紫外消毒设备（254nm）

• XFTF终端过滤设备（0.02μm/0.04μm POU终端滤芯）

该系统稳定产出电阻率18.2 MΩ·cm、TOC<1 μg/L、颗粒（>0.05μm）<0.5个/mL、金属离子ppt级的电子级超纯水，全面满足28nm制程晶圆清洗、光刻、蚀刻等关键工序需求。3. 废水零排与资源化系统

• XWIWW一体化污水设备 + XFMBR设备

• XFRO/XFMSU膜浓缩系统

• XWEC蒸发结晶（固液分离）设备
  实现高盐浓水减量化与晶盐资源化，整体废水回收率达96%以上，真正做到近零液体排放。

4. 化学投加与智能控制系统

• XSDS化学加注设备：精准投加阻垢剂、pH调节剂、杀菌剂等。

• XRW/H/P/C低碳节能设备：通过热回收、自由冷却、智能变频等技术，显著降低全厂水系统能耗。

• XCESJ智能终端边缘计算设备：实现全厂水系统实时监测、AI预测维护和能耗优化。

三、核心应用成效

• 水质保障：超纯水各项指标持续优于SEMI F63标准，28nm产线良率稳定提升。

• 资源效率：新鲜水单耗较传统方案降低42%，废水回收率达96.5%。

• 能耗控制：水系统综合能耗降低28%，助力工厂PUE值控制在低位。

• 运营成本：通过撬装化部署和智能化运维，运维人力减少约35%，全生命周期成本显著优化。

• 环保合规：实现近零液体排放，顺利通过当地环保验收。

四、客户评价“JENFTICH团队不仅提供了高性能的单体设备，更交付了一套高度集成、智能协同的全流程水务解决方案。从源水到超纯水再到零排，系统运行稳定可靠，为我们28nm产线的顺利量产提供了坚实保障。”——该晶圆厂设施工程部负责人